酸洗提纯AlN粉体的研究

摘要

氮化铝(AlN)粉体中的金属杂质与氧化是影响其纯度和性能发挥的主要因素,而酸洗是提纯AlN粉体的有效手段。实验采用磷酸(H_3PO_4)、硝酸(HNO_3)、氢氟酸(HF)和盐酸(HCl)对AlN粉体进行酸洗提纯,主要研究了酸洗过程中酸液的选择与配比对提纯效果的影响。实验结果表明:这四种酸均显著降低了AlN粉体表面的金属杂质含量,而HF和HNO_3的混合酸具有更好的提纯效果,特别能降低其中的Na、W、Fe等金属杂质,而且还可通过HF与Al_2O_3的反应有效去除氧杂质。HF/HNO_3酸液的适宜配比为HF∶HNO_3=2∶1,在该条件下酸洗后的AlN粉体中,金属杂质含量均下降到100 ppm以下,氧含量仅为1.2wt%。