基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究

摘要

涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步距达到 1纳米的条件下 ,测量物件的尺寸范围可以扩大为 2 0 mm× 2 0 m m,不仅适合微小构件的精密测量 ,而且适合较大器件的精密测量 ,且 X— Y方向的位移测量精度最小可达 1纳米。Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器 PSD,Z轴方向的位移测量精度达 10纳米。对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计 。