载气对气相沉积BN膜的形成及摩擦学性能的影响研究

摘要

以Ａｒ＋１０％Ｈ２（体积分数计）、Ｈ２及Ｎ２为载气，采用射频ＰＣＶＤ技术在４０Ｃｒ钢表面制备了ＢＮ膜；对沉积ＢＮ膜进行了ＦＴＩＲ、ＴＥＭ和ＳＥＭ等分析；并对不同载气下膜与基体的结合力、膜层残余应力、硬度及耐磨性进行了比较．结果表明，ＢＮ膜中ｃ－ＢＮ含量分别为５８．１％、２７．７％和２７．４％，膜厚分别为４．６μｍ、２．０μｍ和３．３μｍ．