单光源高精度正交十字形激光标定装置设计

摘要

为了满足特殊的标定需求,保证四路正交激光标定线光学一致性,分析了利用单一光源形成四路十字形激光的成形原理,提出了利用柱面镜形成线光源结合分光棱镜多次分光和组合的方法,实现了单光源输出四向正交的激光十字形标定线,设计了实现激光平行光输入的准直物镜,分析了输出的十字形激光特征,采用模块化的设计思想完成了光学元件支撑结构设计和装调,并进行了主要指标的测试。测试表明,四路十字形激光的相互正交精度优于40″,单路激光十字线长度在(50.1±0.1)mm范围内,激光十字线的照度均匀,峰值半宽在0.1～0.2 mm之间,可以满足高精度的测量及标定要求。