退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
丁士进; 王鹏飞; 张卫; 王季陶; 李伟;
复旦大学电子工程系CVD室;
台湾半导体制造公司(TSMC);
氟化非晶碳膜; ULSI; 集成电路; 化学汽相淀积;
机译:氟化非晶碳膜作为ULSI器件中金属间介电层的结构和电学研究
机译:用于低介电常数氟化非晶碳膜的C_6F_6 / C_5F_8等离子体共聚及其使用原位傅里叶变换红外光谱的气相诊断
机译:低介电常数氟化非晶碳膜的电学性能研究
机译:用于ULSI集成电路的低介电常数氟化非晶碳膜的光谱研究
机译:氟化非晶碳(a-C:F(x))和氮化铝(AlN)膜的电性能。
机译:透明的四面体非晶碳膜可有效钝化Ag纳米线网络用于柔性和透明薄膜加热器
机译:来自非晶碳和非晶氢化碳膜的光吸收和电子自旋共振研究的π能带和能隙状态
机译:用于非晶类金刚石碳膜沉积的arF-和KrF-激光产生的碳羽流的比较诊断
机译:非晶碳膜,非晶碳膜的制造方法以及涂覆有非晶碳膜的膜
机译:非晶碳膜,非晶碳膜的形成方法,导电构件和具有非晶碳膜的燃料电池双极板
机译:非晶碳膜,非晶碳膜的制造方法,具有非晶碳膜的导电性构件以及燃料电池分离器
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。