首页> 中文期刊> 《仪器仪表学报》 >计量型原子力显微镜的非线性误差及轴间耦合误差的校准(英文)

计量型原子力显微镜的非线性误差及轴间耦合误差的校准(英文)

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果。并对一块经过PTB检定的样板进行了测量,测量结果表明对于300nm的台阶高度,测量偏差平均为1.

著录项

来源
《仪器仪表学报》 |1999年第5期|441-445|共6页
作者
高思田; 赵克功; 王春艳;
展开▼
作者单位

中国计量科学研究院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH741.801;
关键词
原子力显微镜; 校准; 非线性误差; 轴间偶合误差;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 无阿贝误差计量型原子力显微镜 [J] . 赵克功 ,H.J.Buechner . 计量学报 . 2002,第002期
2. 原子力显微镜管式扫描器运动学建模与误差分析 [J] . 田孝军 ,王越超 ,董再励 . 仪器仪表学报 . 2005,第9期
3. 静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量 [J] . 刘爽 ,刘云峰 ,董景新 . 光学精密工程 . 2015,第002期
4. 基于多误差源耦合的五轴数控铣床加工误差综合预测及评判 [J] . 王伟 ,郑从志 ,张信 . 中国机械工程 . 2015,第001期
5. 正交并联六轴力传感器耦合误差测量模型及实验分析 [J] . 牛智 ,赵铁石 ,赵延治 . 中国机械工程 . 2018,第024期
6. 计量型原子力显微镜的结构与校准 [C] . 高思田 ,赵克功 . 全国计量测试学术大会 . 1998
7. 原子力显微镜定位系统控制策略及误差补偿方法研究 [A] . 刘坤 . 2010

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号