静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量

摘要

静电悬浮加速度计轴间耦合误差角与悬浮质量块的平行度误差有关,而常规方法很难测量其大小和方向,故本文提出了一种变预载轴间耦合误差角在线测量方法.通过分析悬浮质量块平行度误差、耦合误差角、姿态角与静电力耦合的关系,推导了变预载法进行在线耦合误差角精确测量的原理和公式.设计了静电悬浮加速度计原理样机,并利用该样机对提出的测量方法进行了实验验证.实验测得X向对Y/Z向耦合误差角分别为-5.10×10-4 rad和2.36×101rad,与理论分析相符.该方法同样适用于Y向对X/Z及Z向对X/Y的耦合误差角的在线测量.上述结果表明该方法可以有效、精确地完成静电悬浮加速度计不同轴之间耦合误差角的在线测量.