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激光诱导石墨蒸汽羽的时/空分辨光谱分析

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激光沉积陶瓷薄膜是获取高技术薄膜(如超导薄膜)的新方法。激光诱导的材料蒸汽羽的光谱分析对形成薄膜性质的判断和激光与材料相互作用机理的研究都具有重要意义。为分析简单起见,我们用石墨作为靶材,用YAG激光器、真空室和OMA系统实现了不同能流密度条件下蒸汽羽的时/空分辨的光谱分析,得到如下的结果:

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来源
《量子电子学报》 |1992年第1期|94-94|共1页
作者
赵建荣; Peter K.Schenck;
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作者单位

中国科学院力学研究所;

NIST;

USA;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN201-55;
关键词
蒸汽羽; 谱分析; 激光诱导; 空分辨; 能流密度; 石墨; 超导薄膜; YAG激光器; 相互作用机理; 陶瓷薄膜;

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