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贵宾华; 周晖; 郑军; 杨拉毛草; 张延帅; 汪科良;
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,兰州730000;
安徽工业大学先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验室,安徽马鞍山243002;
HiPIMS; 磁控溅射; 可调控脉冲放电模式; 双极脉冲放电模式; 基体偏压; 沉积温度; 组织结构;
机译:高离子辐照对HIPIMS-HIPIMS技术沉积的纳米CrAlYN / CrN多层涂层结构,性能和高温摩擦学的影响
机译:HIPIMS沉积的CrN / NbN涂层:腐蚀-腐蚀性能的初步研究
机译:DCMS和HIPIMS技术CRN涂层对ABS基质保护性能的比较研究
机译:离子轰击对HIPIMS / HIPIMS技术沉积的Cralyn / CrN纳米尺度多层涂层性能的影响
机译:HIPIMS / UBM技术沉积CRN / NBN涂层中的生长缺陷
机译:在可见光LED下HiPIMS沉积在聚酯上的CuxO / TiO2的光催化性能:氧化剂离子效应和活性氧种类的研究
机译:HIpIms沉积的CrN / NbN纳米结构涂层在纯蒸汽环境中暴露于650℃的性能
机译:低温脉冲等离子体沉积。第1部分:完全气体解离薄膜沉积的新技术
机译:基于标准溶液的沉积技术沉积金属硫属薄膜的方法及混合使用肼/氯化物作为溶剂的短时低温退火处理的方法
机译:利用等离子体增强原子层沉积法通过辅助结构控制技术为紫外发光器件形成多组分薄膜的方法,以及使用相同的,能够容易地控制厚度的量子阱的方法InxAlyGazN薄膜
机译:通过等离子增强原子层沉积的亚晶格结构控制技术形成多组分薄膜和包含多组分量子阱结构的方法
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