热处理温度对Fe-Ni合金薄膜微结构及磁性的影响

摘要

采用直流电沉积法在硫酸盐-氯化物镀液中制备了Fe-44wt％Ni纳米晶合金薄膜。通过原子力显微镜（AFM）、X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）以及开路磁测量装置，对Fe-44wt％Ni合金薄膜镀态和退火态样品的微结构和磁性能进行测量。结果表明：退火温度升高能够降低薄膜内应力，使薄膜结晶均匀，但对薄膜晶粒尺寸和磁性能影响很大。Fe-44wt％Ni合金薄膜是由γ-（Fe，Ni）相和α-（Fe，Ni）相构成。在250℃真空退火处理1h后Fe-44wt％Ni合金薄膜的晶粒尺寸在20～30nm之间，且具有良好的软磁性能，饱和磁感应强度BS为1．06T，矫顽力HC为40A／m。