MEMS微针阵列及其在生物医学上的应用

摘要

利用微机械技术制作的 MEMS微针阵列是 MEMS技术在生物医学上一个重要应用 ,它为生物医学领域提供了新的医疗手段。微针技术在精确药物注射、临床监测、生化检测等领域有着广泛的发展前景。本文介绍了MEMS微针阵列在生物医学领域的三个方面的重要应用 :生物医学微针电极、经皮药物传输及流体采样 ,对他们的应用原理和当前的最新技术进展进行了概述 ,说明了 MEMS微针应用的特点 ,它为患者提供了无痛、高效、安全的医疗手段 ,更符合医学研究人性化的特点。另外 ,讨论了微针阵列制作的一系列工艺方法。