离子镀氮化钛涂层的工艺研究

摘要

以纯钛板和全磨制高速钢钻头为基材，开展了ＨＣＤ型离子镀氮化钛涂层的工艺研究。结果表明，本研究确定的清洗工艺与涂覆工艺相结合，可以得到与基材结合良好，具有高显微硬度、色泽美观、性能稳定的氮化钛涂层。涂层后的高速钢全磨制钻头切削寿命平均增长１０倍以上。本研究得到的涂覆工艺参数：氮分压控制在１．６×１０－３Ｐａ～１．０×１０－１Ｐａ；沉积时间为６０ｍｉｎ～８０ｍｉｎ；负偏压、烘烤温度则分别控制在１０Ｖ～１００Ｖ、３００℃～４００℃之间；枪功率在２０ｋＷ左右。