Cr_(1-x)Al_xN涂层的微结构和抗氧化性能研究

摘要

采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的Cr1-xAlxN涂层,通过能谱仪(EDS)测试涂层的成分,X射线衍射仪(XRD)表征涂层的微结构,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,研究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响。结果表明,涂层取CrN的面心立方结构生长,且呈(111)择优取向。随着Al含量增加,涂层的晶格常数减小,涂层的高温抗氧化性能显著提高。Cr0.6356Al0.3644N涂层随着氧化温度的升高,表面的Al含量略为上升,在900℃涂层产生裂纹失效。