高冲击压阻式加速度传感器

摘要

高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品,具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点,在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础,常用梁岛结构,