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孙彦杰; 刘华; 李金环; 陆子凤; 张莹; 罗钧;
东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
数字微镜阵列; 扫描光刻; 自由曲面光学透镜; 成像线性错位; 图形边缘; 投影成像系统;
机译:单层半导体扫描探针光刻图形化及其在边缘重组中的应用
机译:MEMS XY-Stage上的光刻胶回流透镜的微光学扫描仪
机译:扫描电子显微镜和光学相干断层扫描技术在人眼银行眼睛中分析Schwalbe线(边缘平滑区)
机译:LED离轴道路照明应用的自由曲面光学透镜和折反射自由曲面光学系统的设计
机译:微机械固体浸没透镜和光学天线,用于扫描近场光学显微镜。
机译:扫描电子显微镜和光学相干断层扫描技术在人眼银行眼睛中分析Schwalbe线(沿边缘平滑带)
机译:使用基于DmD的光刻快速制造弯曲微透镜阵列
机译:使用数值孔径大于单位的透镜的光学投影光刻。
机译:2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译:光学活性微结构的生产,例如透镜,包括在基底上机械形成光学活性表面形貌,通过光刻法掩盖形貌,以及通过蚀刻使之平滑
机译:用于浸没式光刻的晶片扫描仪中的折反射投影透镜,具有带有浸没透镜组的折射物镜部分,该浸没透镜组由折射率大于特定值的光学高折射率材料制成
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