Effects of Power Density and Post Annealing Process on the Microstructure and Wettability of TiO_2 Films Deposited by Mid-frequency Magnetron Reactive Sputtering

摘要

“ TiO2 电影的准备 parameters-microstructures-wettability ”的关系是 reported.In 这个工作， TiO2 电影被使用中间频率的双磁控管劈啪作响扔到玻璃和硅底层上在有各种各样的力量密度和免职 time.After 免职的周围的温度的技术，电影是在不同退火的temperatures.X光线衍射( XRD )对待的热，拉曼光谱学，并且扫描电子显微镜学( FE-SEM )的地排放被利用描绘这些电影的 TiO2 films.The 可湿性走水路被评估 TiO2 电影的接触角 measurement.The 阶段转变温度取决于力量 density.It 被表明那可湿性是强烈与 610 nm 的厚度组织依赖者和这部电影(力量密度是 2.22 W/cm2 )显示出最低接触角( 8 °) .It 能被结束那种更小的雏晶尺寸，金红石阶段与( 110 )脸与表面，和张力的应力平行赞成了 TiO2 电影的 hydrophilicity 。