声表面波气压传感器的研究

摘要

本文介绍一种具有数字信号输出的声表面波气压传感器。它具有灵敏度高、非线性误差小、重复性好等特点;详细介绍了样品SAW气压传感器的工作原理、结构设计;给出了性能测试结果,并进行了分析讨论;提出了进一步改进性能的设想。