Influence of Ar/N_2 Flow Rate on Structure and Property for TaN/NbN Multilayered Coatings

摘要

有 nanoscale 双性人层时期的 TaN/NbN multilayered 涂层被 RF (收音机频率)以不同 Ar/N2 流动率综合磁控管 sputtering.XRD (X光检查衍射) andNano Indenter 系统被采用调查 Ar/N2 流动率的影响(F_( Ar ):F_( N2 ))在微观结构和机械性质上涂层。低角度的 XRD 模式显示了定义 awell 的作文调整和 multilayered 涂层的层结构。所有 multilayered 涂层几乎比 rule-of-mixtures 价值揭示了更高的坚硬整体黝黑并且 NbNcoatings.At F_( Ar ):F_( N2 ) =10 ， multilayered 涂层拥有了理想的坚硬，有弹性的模量，内部压力，和破裂抵抗，在另外的 Ar/N2 flowrates.The 与相比综合了有强壮的混合的分层的结构黝黑( 110 )，( 111 )，( 200 )并且 Nb2N ( 101 )质地应该与提高的机械性质有关。