基于全部弹性变形原理的超精密微动工作台的实验研究

摘要

提出了一种无摩擦工作台。采用弹性导轨和弹性传动机构，所以不受间隙和摩擦的影响，可以达到较高的分辨率，同时微动台中也不需要任何精密制造的零件。试验证明，此微动台具有亚微米的定位精度，分辨率可达０．０１μｍ。探讨了微动台的结构和性能。