悬桥式微流量传感器

摘要

本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术在硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅、ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１～１００ＳＣＣＭ的气体流量，其响应时间小于１０ｍｓ，芯片尺寸为７×６ｍｍ２。