利用Michelson干涉仪测量CCD的调制传递函数

摘要

介绍了利用Michelson干涉仪测量CCD调制传递函数的方法，与其他方法相比，该方法具有测量装置简单、将正弦图样投射到待测cCD阵列上无需借助光学系统等特点。给出了典型的线阵和面阵CCD的调制传递函数曲线的测量结果。