首页> 中文期刊> 《材料研究学报》 >Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性

Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

用磁控溅射法制备了Ｔ０ａ２Ｏ５薄膜，再用Ｃ－Ｖ法和ＪＦＥＴ外接薄膜电极法研究其稳定性和离子响应灵敏度．实验发现，在纯氧中沉积的厚２００ｎｍＴ２Ｏ５薄膜有较高的离子响应灵敏度和良好的稳定性．

著录项

来源
《材料研究学报》 |1994年第5期|449-451|共3页
作者
吴冲若; 刘刚; 林海安; 邱洁真;
展开▼
作者单位

东南大学;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类敏感器件;
关键词
Ta2O5薄膜; 离子敏感; 稳定性;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 自组装超薄膜修饰Ta_2O_5介质膜及其特性研究 [J] . 杨亚杰 ,徐建华 ,蒋亚东 . 化学学报 . 2012,第008期
2. MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜的AFM分析及其I-V特性研究 [J] . 黄蕙芬 . 固体电子学研究与进展 . 1999,第4期
3. 热处理对MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜微结构及其IU特性的影响 [J] . 黄蕙芬 ,唐泽荣 ,钟锐 . 真空科学与技术 . 1999,第6期
4. 脉冲激光沉积Ta_2O_5薄膜的Al/Ta_2O_5/n-Si结构的C-V和DLTS研究 [J] . 张胜坤 ,付正文 ,柯炼 . 自然科学进展：国家重点实验室通讯 . 1998,第3期
5. 薄膜厚度对钛酸钡类薄膜传感器敏感特性的影响 [J] . 李斌 ,李观启 ,黄美浅 . 电子元件与材料 . 2004,第010期
6. Fe3+离子敏感Ge-Sb-Se-Fe(Ni)系薄膜的掺杂行为研究 [C] . 张海芳 ,杜丕一 ,翁文剑 . 中国真空学会第六届全国会员代表大会 . 2004
7. 掺杂Ge-Sb-Se系Fe、Cd离子敏感薄膜结构与性能研究 [A] . 张海芳 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号