未抛光多晶硅表面阳极氧化后的可见光发射

摘要

用制备发光多孔砖的常规电化学方法，在未抛光多晶硅表面制备了均匀发射可见光的样品。光致发光实验表明：多晶硅表面上的样品可以产生多孔硅特征光致发光。用扫描电镜对此样品及常规多孔硅的微结构做了研究，结果表明：两种样品的微结构有很大差别，多晶硅表面上的样品只有两层结构，即表面层和多晶硅衬底，而没有形成多孔层。