快速定向扩散法CVD碳／碳复合材料艺研究

摘要

设计了一种快速制备碳／碳（简称Ｃ／Ｃ）复合材料的新工艺，借助于炉内沉积室中的定向扩散装置，并通过沿试样坯体厚度方向上的压力差，在合适的工艺参数条件下，沉积气体能快速而定向地扩散到试样坯体内部进行沉积。在对新工艺原理进行分析的基础上，运用正交设计试验法，探索了沉积温度、炉压、气体流量等工艺参数对试样沉积速度和密度的影响，确定了最佳工艺方案和稳定可靠的工艺参数。实验结果表明：用新工艺方法──快速定向扩散法化学气相沉积（ＣＶＤ）Ｃ／Ｃ复合材料周期短、成本低，效率高。