射频激励平板CO_2激光器放电机理的理论研究

摘要

本文以气体放电理论为基础 ,利用简化模型推导出射频激励平板CO2 激光器气体放电击穿电压的数学关系式 ,指出影响激光气体放电击穿的几个物理参量。通过对激光气体放电进行数值模拟 ,得出放电等离子体电压 -电流密度特性曲线 ,讨论了影响该曲线的物理因素 ,描述了放电等离子体的物理结构模型。把理论结论与相关实验测试结果比较 。