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目录
第一章 前 言
1.1射频激励CO2激光器国内外的发展现状
1.2射频激励CO2激光器相对于其他激光器的优点
1.3 射频激励CO2激光器放电腔热应力分析的目的和意义
1.4 有限元法简介
1.5 有限元分析软件ANSYS Workbench
1.6 本文主要研究内容
1.7 本章小结
第二章 射频激励CO2激光器放电腔热应力分析的理论基础和有限元模型的建立
2.1 传热学基本理论
2.2 导热微分方程及其定解条件
2.3 导热问题的有限元解法
2.4热应力的理论基础
2.5 有限元求解热应力的基本方法
2.6 有限元模型的建立
2.7 本章小结
第三章 射频激励CO2激光器放电腔温度场和应力场的数值模拟
3.1温度场的数值模拟
3.2热应力模拟
3.3 分析结果
3.4 方案一的热应力分析
3.5 方案二的热应力分析
3.6 方案三的热应力分析
3.7 方案四的热应力分析
3.8 原模型与四种方案热变形的分析结果对比
3.9 本章总结
第四章 射频激励CO2激光器放电腔的实验分析
4.1 实验注意事项
4.2 实验步骤和设备
4.3 实验结果数据整理
4.4实习期间其他的一些工作成果
4.5 本章总结
结束语
参考文献
攻读硕士期间已发表的论文
致谢
项目资助