光栅付相对位置偏差对信号质量的影响

摘要

本文通过实验总结了光栅位移传感器所发信号的调制度和直流电平两者随光栅间隙而变化的脱律。在此其础上,对“光栅付相对位置偏差——信号质量”变化规律进行了全面的分析验证,得出一系列表示这种变化规律的传递公式。