化学液气相沉积制备炭/炭复合材料的机理及研究进展

摘要

介绍了化学液气相沉积研究开发的背景、工艺设备装置及沉积机理;分析了该工艺的实质;概述了该工艺存在的问题及国内外对该工艺的研究进展。