PZT铁电薄膜介电性能测试研究

摘要

运用数字锁相技术研究了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜的介电性能测试技术,随着薄膜微图形化尺寸的缩小,电路寄生参数的影响将逐渐变大并成为主导因素,从而严重影响薄膜介电性能测试的准确性。通过补偿方法,消除了电路寄生参数的影响,准确测量了薄膜的介电常数。通过对溶胶-凝胶制备的PZT薄膜样品的介电性能测试表明,上述补偿法可满足PZT铁电薄膜制备技术及微机电系统中器件设计对PZT微图形性能测试的要求。