溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铋铁电薄膜

摘要

利用溶胶 -凝胶法在 Si(10 0 )及 Pt/ Ti/ Si(10 0 )衬底上制备了 Bi3.5 L a0 .5 Ti3O1 2 (BL T- 5 )铁电薄膜 ,研究了在不同退火条件下 BL T- 5薄膜的结晶性能。经 6 5 0°C、30 m in退火处理的 BL T- 5铁电薄膜的矫顽场 Ec=6 7k V/ cm,剩余极化强度 Pr=11.2 μC/ cm2 。 BL T- 5铁电薄膜呈现较好的抗疲劳特性 。