离子注入对多孔硅可见光发射特性的影响

摘要

本文在前期对多孔硅发光机理研究的基础上，研究了离子注入对多孔硅光致发光的影响。实验表明离子注入除了可以降低多孔硅光致发光的强度外，还将使多孔硅的光致发光光谱谱峰产生蓝移、半高宽展宽，并在多孔硅发光谱带中产生一些发光减弱区和次峰结构。文中最后对实验现象做了解释。