接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置

摘要

接触式干涉仪被广泛地用来检定（3～4）等量块,这种仪器的示值误差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一种不被注意的情况下，仪器的示值误差会达到0．3μm左右，这种情况在实际使用中又是可能出现的，因此有必要对此加以认识。