镍离子注入氧化铝陶瓷的表面结构研究

摘要

应用Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散射谱（ＲＢＳ）、Ｘ射线衍射分析（ＸＲＤ）和Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）方法，研究了Ｎｉ离子注入Ａｌ＿２Ｏ＿３陶瓷中Ｎｉ￣（２＋）的浓度分布、存在状态以及热退火的影响。结果表明，在注入层内主要是以Ｎｉ￣（２＋）状态存在。经热退火后，Ｎｉ￣（２＋）进入Ａｌ＿２Ｏ＿３晶格，形成ＮｉＡｌ＿２Ｏ＿４尖晶石化合物。