掺铝钛酸锶薄膜及其与CrO_x复合膜的制备及氧敏性能的研究

摘要

以TiCl4 ,SrCl2 ·6H2 O为主要原料 ,采用溶胶 -凝胶法制备出掺Al3+的钛酸锶薄膜 ,分析了薄膜的表面形貌和晶相组成 ,并比较了铝含量不同的SrTi1-xAlxO3-δ薄膜的氧敏性能 .实验结果表明 :掺摩尔分数为 0 .0 1的铝的钛酸锶薄膜表现出较高的氧敏性 ,但是 ,铝的掺入并没有消除钛酸锶薄膜的半导特性在中性气氛附近从n型向p型转变 .在此基础上 ,又合成了SrTi0 .99Al0 .0 1O3-δ-CrOx 复合膜氧敏材料 ,该复合膜在 70 0℃下可掩盖SrTi0 .99Al0 .0 1O3-δ薄膜的半导特性从n型向p型转变 .