从平面显微图像中提取三维位置反馈信息方法的研究

摘要

针对微操作机器人的结构特点和工作环境 ,提出了一种基于边缘孔径细光束照明原理的纵向定位新方法。即使用两束对称的不同颜色轴外光照明 ,可以直接从显微图像中得到离焦量和离焦方向。这种方法具有操作简单、计算量小等特点 ,定位精度达到 1μm。