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超薄铝膜电导特性的原位测量研究

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摘要

在真空室内原位测量了磁控溅射超薄铝膜的电阻率和薄膜厚度之间的关系以及各种工艺参数对其影响，薄膜的不同厚度阶段，具有不同的导电特性。分析表明：表面和晶界对传导电子的散射是构成薄膜电阻率尺寸效应的原因．

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来源
《金属学报》 |1996年第3期|308-312|共5页
作者
唐兆麟; 黄荣芳; 闻立时;
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作者单位

中国科学院金属研究所;

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正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
超薄膜; 电导率; 尺寸效应; 铝膜; 原位测量;

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