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用于工艺流程自动生成的排序算法

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文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息 ,利用工艺库 ,得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于

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来源
《微电子学》 |2001年第2期|115-117|共3页
作者
严利人; 王强;
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作者单位

清华大学微电子学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
集成电路; 工艺流程卡; 自动排序算法; 工艺库;

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