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吴雷; 李铁; 王立春; 王翊; 王跃林;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室;
微电子机械系统; 面型微加热器; 热分析;
机译:直流磁控溅射法制备的微传感器用微加热器用直流磁控溅射铂薄膜的电学和热学性能
机译:具有无源微泵和电池供电加热器的PCR微反应器机械,用于临床水平和多路复用DNA靶的热循环扩增
机译:基于微腔的微加热器:微加热器的最佳设计
机译:用于废气传感应用的高温钼微加热器的设计和电热机械分析
机译:结晶聚合物微/纳米纤维的机械和热学表征。
机译:激光指示器驱动的微型加热器用于在体内精确进行局部加热和条件基因调节。斑马鱼的微加热器驱动基因调控
机译:硅微悬臂加热器的电学,热学和机械特性
机译:硅片光学微板的热学研究与板式加热器的焊接
机译:微加热器以及制造微加热器和微传感器的方法以及制造微传感器的方法
机译:使微加热器阵列温度均匀分布的微加热器和微加热器阵列
机译:具有内置样品和分析微室板的微室板的制造方法,分析微室板和用于制造具有内置样品的分析微室板的装置
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