硅片抛光剂SiO_2溶胶的制备和性能研究

摘要

以ＮａＯＨ和有机碱为介质， 制成两种乳白色碱性ＳｉＯ２ 溶胶， 溶胶粒径在５０ ～７０ｎｍ 范围， 性能稳定。当ＳｉＯ２ 浓度低于５０％ （ 质量分数）、ｐＨ＝８ ．５ ～１１ 时， 溶胶可以长时间存放而不沉淀分层。超微ＳｉＯ２ 颗粒细制成的两种ＳｉＯ２ 溶胶粘度低， 能通过中速滤纸。