小尺寸等离子体电子密度原子发射光谱诊断

摘要

发射光谱法诊断技术作为一种"非接触式诊断技术",其响应时间快,分辨率高,可以满足小尺寸等离子体电子密度诊断的要求。本文综述了H谱线Stark展宽法、非H谱线Stark展宽法和Saha方程法测量电子密度的原理及近年来在小尺寸等离子体的电子密度诊断中的应用。