光栅纳米测量中的实时动态误差修正方法研究

摘要

本文首次提出了光栅纳米测量中莫尔条纹信号的参数连续性概念和一种以之为依据的新的实时动态误差修正方法 ,并进行了实验验证。它根据信号的实时特征参数及其变化规律工作 ,不仅能够修正系统误差 ,而且能够修正部分随机误差。应用本方法可极大地改善细分误差在全量程上的一致性 。