一种三维光栅传感器式牵引测头的研制及分析

摘要

本文介绍了一种新型三维光栅传感器式牵引测头的原理及其应用。3个相互垂直的轴作线性位移,有效行程±5mm,测量分辨率2μm。详细地分析了测头的静态误差和动态误差,并给出实验结果。这种测头具有测量效率高、实现自由曲面测量及提高坐标测量设备的自动化程度等优点。