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稻壳SiC晶须合成的热力学基础及VLS催化生长机理

         

摘要

本文对稻壳合成SiC晶须(简称SiCw)及SiC颗粒(简称SiCp)进行了热力学分析,确定了基元反应,设计了SiCwVLS生长的新型复合催化剂。研究表明:在稻壳合成SiCw的反应中,SiCp的生成是不可避免的;在新型复合催化剂作用下,SiCw的生成率可达30%以上;SiCw的生长为粗糙界面生长机制,SiCw表面光滑。

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