低偏振相关损耗聚合物光波导(英文)

摘要

表征了新合成的热光聚合物bisphenol A-aldehyde resin(BPA-resin)的独特性质。并且利用光刻和反应离子刻蚀技术(RIE)制备成功BPA-resin聚合物的单模条波导.实验结果表明,对于TE和TM偏振,该聚合物波导在1.31μm和1.55μm波长下分别有低达0.43 dB/cm和0.51 dB/cm的传播损耗.在上述波长下,波导的低偏振相关损耗(PDL)小于0.1 dB/cm.因此,是制备可调热光器件的良好导波模快.