溶胶—凝胶法制备纳米碳化硅粉的几种影响因素

摘要

以蔗糖和正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体，对溶胶—凝胶法制备纳米碳化硅粉工艺中的几种影响因素：pH值、去离子水量、蔗糖加入先后顺序等进行了研究。XRD分析结果表明，过量水导致Si(OR)4的充分水解，并形成高度交联的水解聚合物。由于交联程度高使得1400℃反应时只能得到大粒径的无定型二氧化硅，不能得到β－SiC。适量水与TEOS反应时，无论是在酸碱条件下都能得到粒径为15～20nm左右的β－SiC粉。其中二氧化硅含量以先用适量水水解，再加入去离子水溶解之蔗糖的样品为最少。SEM和TEM分析表明，在酸性环境中水解后制得的纳米碳化硅粉分散性好，粒度均匀；而在碱性环境中水解制得的碳化硅粉团聚程度高。