一种精确的小角度测量方法

摘要

文章介绍了一种精确的小角度测量方法的原理及其应用装置。通过实验对比,验证了该方法的准确性(精度可达2%)。将该方法及装置应用于硅材料纵向杂质分布的扩展电阻测试[1-3],可大大提高浅结结深测量的准确度。