微晶半导体材料的研究现状

摘要

微晶半导体在电子学及光学性质上既不同于非晶,又不同于普通的多晶材料。通常多制成微晶薄膜,其主要制备方法有等离子体化学沉积法,磁控溅射法、光化学沉积法等。鉴别微晶的主要方法是拉曼散射。有前途的应用领域是太阳电池、薄膜晶体管和非线性光学等。