用Y_2O_3-Al_2O_3-SiO_2钎料进行Si_3N_4的连接

摘要

本文用二种Ｙ２Ｏ３－Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＯ２（ＹＡＳ）钎料进行Ｓｉ３Ｎ４／Ｓｉ３Ｎ４的连接研究。在２０ｋＰａＮ２，１４５０℃～１６５０℃保温１５ｍｉｎ的实验条件下，Ｓｉ３Ｎ４／Ｓｉ３Ｎ４的接头强度随连接温度的增加先增后降。微观分析表明：接头强度与ＹＡＳ／Ｓｉ３Ｎ４的界面扩散反应和接头残留玻璃相的厚度有关。