XPS研究中几种参数对CdS中Cd　3d结合能的影响

摘要

本文着重从仪器本身参数方面和样品方面讨论了由于各参数的不同，对电子结合能的影响。通过半导体ＣｄＳ膜的研究，探讨了Ｃｄ　３ｄ５／２，Ｃｄ　３ｄ３／２特征峰结合能的变化规律，分析了这种变化在测试中带来的影响。