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喷雾热分解法制备ZnO系低压压敏薄膜

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首次利用喷雾热分解法成功地制备出低压ＺｎＯ压敏薄膜．沉积温度３５０℃，沉积时间２ｈ；退火温度６５０℃，退火时间１ｈ．Ｘ射线分析表明薄膜经退火后已良好晶化．其非线性系数α为８．０９；压敏电压Ｖ１ｍＡ为１３．１５Ｖ．

著录项

来源
《硅酸盐学报》 |1999年第4期|505-507|共3页
作者
贾锐; 武光明; 宋世庚; 陶明德;
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作者单位

中国科学院新疆物理研究所;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
氧化锌; 低压; 压敏薄膜; 喷雾热分解; 压敏陶瓷;

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